本发明涉及一种超薄工件的电解加工方法及装置，属于精密微细电化学加工领域。该方法的特征在于：利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，运用纳米电极对悬挂在电解液液膜中的超薄工件进行纳米电解加工，避免了装夹时由于工件自身的刚性不足而产生形变，致使产生形状误差等问题；且电解加工具有加工不受材料强度和硬度限制、工具电极无损耗、加工工件表面无残余应力和再铸层、加工质量好、生产效率高等优点。为异形结构件加工、超小孔加工、群孔加工、线切割加工等微细电解加工领域进行纳米级的加工试验研究开辟了崭新的方向。