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| 专利名称 | 具有电介质流体分配器的探针卡系统 |
| 申请日 | 2018-08-24 |
| 申请号/专利号 | CN201810972854.4 |
| 专利权人 | 基思利仪器有限责任公司 |
| 申请人 | 基思利仪器有限责任公司 |
| 发明人/设计人 | V.V.根金;A.N.普罗宁;J.A.彼得斯 |
| 公告日 | 2019-03-05 |
| 公告号 | CN109427608A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 | 集成电路 |
摘要
公开了具有电介质流体分配器的探针卡系统。一种用于测试集成电路晶片的系统包括探针卡和分配器组件。探针卡包括电路板和耦合到电路板的探针尖针。分配器组件被耦合到探针卡并且被配置为将经计量的量的电介质流体递送到探针尖针的尖端。还公开了方法。
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