本发明公开了一种铍铜瓶盖模具的表面涂层及其制备方法，涉及涂层制备技术领域。该方法采用磁控溅射依次在低温条件下在铍铜瓶盖模具基片上制备第一涂层、第二涂层；然后，采用PECVD技术在低温条件下在第二涂层上沉积第三涂层；其中，第一涂层为Cr/CrN/CrCN/CrC涂层或者Ti/TiN/TiCN/TiC涂层；第二涂层为WCC涂层；第三涂层为DLC涂层。该方法通过PECVD技术在低温条件下沉积DLC涂层，不会影响瓶盖模具内的橡胶密封圈，从而可提高铍铜瓶盖模具的使用寿命。同时，沉积的DLC涂层具有内应力小、结合力高、硬度高、摩擦系数低、自润滑、导热系数高的特性，能够进一步地提高铍铜瓶盖模具的使用寿命。