本发明涉及金刚石生长领域，尤其涉及一种CVD金刚石生长在线检测方法和系统。一种CVD金刚石生长在线检测方法，包括步骤：S1、检测装置实时检测金刚石生长厚度，生成并输送厚度数据到控制中心；S2、控制中心根据所述厚度数据生成实时生长曲线，所述控制中心读取当前金刚石生长环境数据，并根据所述环境数据将所述实时生长曲线与相同的环境数据的对比数据进行比对；S3、根据比对结果控制金刚石生长的相关操作。相较于现有技术，本发明提供的一种CVD金刚石生长在线检测方法，实现了一下技术效果：可以测量单颗金刚石、多颗金刚石、多晶金刚石膜的生长厚度，并进行实时监控，记录数据。