一种烷氧基硅烷的制备方法，该方法以硅“废料”为原料，该原料包括精馏的液态高沸物和副产硅粉，所述精馏的液态高沸物主要由三氯氢硅、四氯化硅及其高聚物组成；当以精馏的液态高沸物作为原料时，直接将无水烷氧醇和精馏的液态高沸物加入反应器内发生反应；当以副产硅粉作为原料时，采用铜系催化剂与助剂形成新型的复合催化剂体系，将硅粉与复合催化剂进行预先处理，再将其混合物与无水烷氧醇均匀分散在悬浮剂内，在反应器内发生直接合成反应。该方法拓宽了硅“废料”的利用渠道，实现了硅“废料”的高附加值利用；另外，本发明还降低了烷氧醇的使用量、提高了硅“废料”的转化率、提高了产物的纯度和收率。