一种气凝胶的绿色生产工艺及其应用，包括烷氧基硅烷的制备和以烷氧基硅烷为原料制备二氧化硅气凝胶，前者以硅“废料”为原料，该原料包括精馏的液态高沸物和副产硅粉，所述精馏的液态高沸物主要由三氯氢硅、四氯化硅及其高聚物组成；采用烷氧基硅烷为原料，将其水解形成溶胶，再经改性老化，并经过超临界干燥和常压干燥步骤制备获得二氧化硅气凝胶产品，水解副产的烷氧醇回收后，再循环用于制备烷氧基硅烷和气凝胶。该工艺可拓宽硅“废料”的利用渠道，实现硅“废料”的高附加值利用；另外，本方法工艺简单、生产成本低、生产周期短、水解副产的烷氧醇回收可再循环利用、可实现连续化稳定生产，对环境友好。