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专利名称一种碲锌镉晶片表面研磨装置
申请日2019-11-26
申请号/专利号CN201911176287.2
专利权人湖南大合新材料有限公司
申请人湖南大合新材料有限公司
发明人/设计人陈琳;张明文;潘永志;龙洪波;陈坚
公告日2020-02-28
公告号CN110842755A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种碲锌镉晶片表面研磨装置,涉及光电元器件加工技术领域,包括:底架、第一驱动部、工作台、顶架、储液箱、多个连接件、多个研磨部和第二驱动部,第一驱动部设置在底架的顶部;工作台与第一驱动部动力连接,工作台上设有多个安装槽,多个安装槽之间设有第一通路;储液箱安装在顶架的顶部;顶架上设有第二通路,第二通路与储液箱相连通;多个连接件均与第二通路相连通,连接件为中空结构,连接件转动连接在顶架的底部,连接件的下端设有开口;研磨部设置在连接件的底部,研磨部的位置与安装槽相对应;第二驱动部与连接件动力连接,用于驱动连接件转动。本发明提升了晶片的良品率。
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