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专利名称一种炭炭坩埚生产装置
申请日2019-11-25
申请号/专利号CN201911165591.7
专利权人美尔森银河新材料(烟台)有限公司
申请人美尔森银河新材料(烟台)有限公司
发明人/设计人历建政;许建东
公告日2020-01-17
公告号CN110699667A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种炭炭坩埚生产装置,包括用于盛放坩埚工件的引流装置,所述引流装置上设有进气孔和出气孔,引流装置内设有阻隔装置,所述阻隔装置用于形成流经坩埚内外壁的气流通道,所述进气孔通过所述气流通道与出气孔相连通。所述引流装置包括底座、外限气筒、内限气装置、盖板、垫块和上限气板;所述气流通道包括中央通道、内流通道、中间通道和外流通道。本发明中的引流装置可以引导碳源气体均匀地流经工件表面,确保反应均匀,提高工件生产质量。
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