本发明涉及化工技术领域，尤其是一种密封性好的氧化锗反应装置，包括釜体和内箱体，内箱体固定安装在釜体内，釜体一侧中部固定安装有电机，釜体一侧顶部连通有泄压口，泄压口上固定安装有气压计，釜体上端固定安装有封盖，内箱体上表面一侧连通有第一进料管，且第一进料管上端贯穿封盖并固定安装有投料机构，封盖上表面远离投料机构一侧固定安装有蒸汽发生装置，蒸汽发生装置上连通有输气管，且输气管一端贯穿封盖并连通有加热管，且加热管呈缠绕式包覆在内箱体外表面上，加热管上均匀开设有多个通气孔。该密封性好的氧化锗反应装置能够有效地避免由于装置运行振动而导致进料口出现气体泄漏的情况，具备较好的密封性。