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专利名称焦化缓蚀剂
申请日2019-11-13
申请号/专利号CN201911107359.8
专利权人上海贵通新材料科技有限公司
申请人上海贵通新材料科技有限公司
发明人/设计人徐文忠
公告日2020-02-04
公告号CN110747002A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种焦化缓蚀剂,包括:重量份计的含硫氨基酸组合物30~35份,胺复合剂12~15份、聚丙烯酰胺10~12份和增效剂6~12份。本发明成本低廉,易降解,采用氨基酸组合物、胺复合剂和聚丙烯酰胺进行复配使用,缓蚀效果明显,本发明采用的焦化缓蚀剂以氨基酸组合物为主要原料配合第一代缓蚀剂大大降低了胺复合剂的使用量,采用碳基材料负载氨基酸的方式解决了现有技术中绿色缓蚀剂吸附膜致密性差的缺点,使得该缓蚀剂更加环保而且缓蚀效果相较于第一代缓蚀剂有明显增加。
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