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专利名称一种Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法
申请日2019-11-06
申请号/专利号CN201911076611.3
专利权人长沙迅洋新材料科技有限公司
申请人长沙迅洋新材料科技有限公司
发明人/设计人余琨
公告日2020-01-21
公告号CN110714142A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明属于合金靶材及粉末冶金材料加工技术领域,具体提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材,所述Al‑Sc‑X合金靶材由以下重量百分比计的组分组成:50%~98%Al,1%~48%Sc,1%~49%X,其中所述X为Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一种或多种,该合金靶材可以拓展铝钪合金靶材应用范围。本发明进一步提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材的制备方法,该方法采用粉末冶金热压烧结制备合金靶材,解决了与Al的熔点相差较大的金属与Al难以实现冶金结合的问题,且Sc和X不易发生氧化反应,该方法制备流程短,技术参数控制准确,适合批量生产。
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