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专利名称一种金刚石生长托盘和系统
申请日2019-10-31
申请号/专利号CN201911053062.8
专利权人长沙新材料产业研究院有限公司
申请人长沙新材料产业研究院有限公司
发明人/设计人彭国令;黄翀
公告日2020-01-21
公告号CN110714225A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明涉及金刚石制造领域,尤其涉及一种金刚石生长托盘和系统。一种金刚石生长托盘,包括基部、装设在所述基部上的承台;所述承台为正多棱台形或圆台形,在上表面具有凹槽,所述凹槽的开口处边沿为倒角设计。相较于现有技术,具有以下效果:通过新设计的籽晶托盘,可以维持籽晶表面的等离子体分布及电场分布在最佳状态,保证金刚石籽晶生长环境稳定,降低表面生长缺陷数量,最终合成出高质量的单晶金刚石片;通过新设计的籽晶托盘,可以使籽晶托盘边缘碳黑等杂质生长速率显著降低,保证单次稳定生长时间更长,可以一次性生长更厚的产品,提高生产效率。
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