本发明公开一种富氢水制备工艺，包括如下步骤：预处理：对源水进行过滤处理；反渗透调节：采用孔径为0.1‑2nm的反渗透膜对预处理后的源水进行反渗透调节；混合溶氢：将反渗透调节后的源水通入制氢设备，源水与所述制氢设备中的原生氢矿料发生高速碰撞，生成富氢水；灭菌消毒：利用紫外线对上述富氢水进行灭菌消毒；灌装封盖。本发明采用包括原生氢矿料的制氢设备生产富氢水，利用原生氢矿料与水高速碰撞，释放出纯净氢气，矿料释放的氢元素充分溶入水分子团中，满足工业化需求，同时制造成本较低；紫外灭菌减少在灭菌消毒工艺中氢元素的逃逸和消耗，有效保证富氢水中氢含量的稳定性。