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专利名称一种升级半导体化学品纯度的有机相电磁场渗析工艺
申请日2019-10-30
申请号/专利号CN201911045530.7
专利权人雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司
申请人雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司
发明人/设计人宋太沧;唐斌;樊振寿
公告日2020-02-11
公告号CN110772997A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

一种升级半导体化学品纯度的有机相电磁场渗析工艺,包括如下步骤:前期准备、原料准备、制备,所述前期准备为组建电磁场渗析装置;所述电磁场渗析装置,包括膜堆、阳极板、阴极板;所述阳极板、阴极板分别位于所述膜堆两侧,所述阳极板与所述膜堆之间设置有阳极池,所述膜堆、阴极板之间设置有阴极池;所述膜堆内设置有两个单元电渗析池;所述单元电渗析池的结构相同;本发明所述的升级半导体化学品纯度的有机相电磁场渗析工艺,在生产成本上,电耗远低于传统生产工艺电膜反应器法,在过程平均电流效率方面,高于电膜反应器法30%,在纯度方面,该工艺提高了纯度,应用前景广泛。
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