本发明提供一种硅材清洗处理系统及方法，配置了清洗机器人，清洗槽，冲洗槽以及纯水槽。清洗机器人能够实现将待清洗的硅材料进行运输，在清洗槽，冲洗槽以及纯水槽实现清洗处理。清洗槽起到了清洗的作用，冲洗槽对清洗后的硅材料进行冲洗，纯水槽进行进一步的处理，保证了清洗的质量，避免污染后续清洗工序。还能够实现鼓泡，加热等方式，还可以实现自动匹配清洗液，并进行添加。实现了工艺全自动化，智能控制，可以量产，提高生产效率；清洗效果好，能较好的把硅表面杂质清洗掉，实现硅的循环再利用；节省生产成本，节省劳动力。