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专利名称一种半导体材料智能研磨抛光机
申请日2019-10-21
申请号/专利号CN201910999774.2
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人任广慧;张培林;武建军;柴利春;王志辉;张作文;纪永良
公告日2020-01-07
公告号CN110653697A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明属于半导体领域,尤其是一种半导体材料智能研磨抛光机,针对现有的半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有U型板,本发明通过将半导体棒卡装在两个卡罩上,之后依次启动驱动马达、打磨电机以及转动电机,即可实现对半导体棒进行全面的打磨,且不需要手工对半导体棒进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。
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