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专利名称一种用于生产半导体材料箔的智能化装置和方法
申请日2019-10-21
申请号/专利号CN201911000225.6
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人郭志宏;张培林;武建军;柴利春;王志辉;张作文;纪永良
公告日2020-01-17
公告号CN110703680A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种用于生产半导体材料箔的智能化装置,包括制造台,所述制造台顶壁上开有处理槽,所述处理槽内设有切割刀片,其内侧壁开有容纳传动轴和电机的安装槽,所述制造台内开有与处理槽相通的收料槽,所述收料槽内腔中设有拉伸杆和推料板,所述制造台顶壁上开有四组侧边槽且分布在其两侧,所述移动块共设有四组且分别位于四组侧边槽内,四组所述侧边槽内均设有升降杆。该用于生产半导体材料箔的智能化装置和方法,通过设置了四组转轴和四组挤压筒,四组挤压筒分布在切割刀片的两边,使得硅箔被切割位置的两边分别在四组挤压筒的作用下保持水平,使切割后的硅箔相对平整,切割的精准度更高。
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