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专利名称一种半导体材料生产用智能设备及其使用方法
申请日2019-10-21
申请号/专利号CN201910999772.3
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人武建军;张培林;柴利春;王志辉;张作文;纪永良
公告日2020-02-14
公告号CN110788706A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种半导体材料生产用智能设备,包括外壳、翻转板、集屑槽、第一螺纹杆、第一移动组件、夹持组件、承载板、打磨盘、连接板、弹性组件、安装板、第二移动组件和保护罩,在翻转板上连接有第一螺纹杆,在第一螺纹杆上通过第一移动组件移动设置有移动环,移动环周侧连接有夹持组件,第一螺纹杆远离翻转板的一端上固定连接有承载板,打磨盘背离承载板的一侧面中心固定连接有转轴,转轴的另一端滑动穿过套管固定连接有第三电机的机轴,连接板通过弹性组件连接有与打磨盘平行设置的安装板,安装板还连接有承载板一侧的翻转板上安装的第二移动组件。该半导体材料生产用智能设备,具有适用性好、使用方便等优点,可以普遍推广使用。
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