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专利名称一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法
申请日2019-10-17
申请号/专利号CN201910986748.6
专利权人江苏吉星新材料有限公司
申请人江苏吉星新材料有限公司
发明人/设计人杨华;秦光临;陆昌程
公告日2020-01-03
公告号CN110643327A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,属于蓝宝石表面处理技术领域。所述方法具体制备过程如下:取碳化硼微粉、金刚石微粉和氧化铝空心球混匀后放入放电等离子烧结炉中退火处理,保持真空恒压的条件下程序升温至1350‑1450℃温度保持10‑15min后自然冷却至100℃以下;将冷却后混合物放入球磨机中研磨;研磨后混合物中加入去离子水配置成混合液;混合液在室温下搅拌后得到蓝宝石晶片研磨液。本发明所述方法将碳化硼微粉、金刚石微粉和微米级氧化铝空心球经过退火处理后起到协同增效作用,制备的研磨液能够增加材料去除率、降低研磨后材料表面粗糙度。
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