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专利名称一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法
申请日2019-10-17
申请号/专利号CN201910986790.8
专利权人江苏吉星新材料有限公司
申请人江苏吉星新材料有限公司
发明人/设计人陆昌程;杨华;秦光临
公告日2020-01-24
公告号CN110724459A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法,属于蓝宝石表面处理技术领域。所述方法步骤如下:室温下,将异丙醇铝加入甲苯和二氧六环中溶解后,加入去离子水,然后再超声分散,得到Al2O3溶胶;向Al2O3溶胶边搅拌边加入乙二胺调节pH至碱性,然后加入碱性有机硅溶胶,电磁搅拌得到搅拌后混合液;搅拌后混合液中加入表面活性剂、氧化剂、分散剂和去离子水,电磁搅拌即可。本发明所述方法通过将Al2O3溶胶和有机硅溶胶结合,在碱性环境下,与表面活性剂、氧化剂、分散剂和水经过电磁搅拌,起到协同增效的作用,制备的抛光液能够在保持材料高去除率的同时,避免对材料的深度磨损,降低了材料抛光后表面粗糙度,并且易于清洗。
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