一种掺杂多铁性BiFeO3薄膜的化学制备方法，该方法有八大步骤：一、乙二醇甲醚与丙酸按体积比3:1配制成基本溶剂；二、母相BiFeO3（BFO）溶胶的配制：三、掺杂相BaTiO3（BTO）溶胶配制：四、Pt/Ti/SiO2/Si基片的清洗处理；五、Pt/Ti/SiO2/Si基片置于匀胶机上，先旋涂一层BFO溶胶并烘干；六、在BFO湿膜上，再旋涂一层BTO溶胶并烘干；七、重复步骤五和六，得到不同Ba，Ti掺杂量BFO薄膜；八、在Ba，Ti掺杂量BFO薄膜上溅射金属铂电极。本发明不直接将掺杂元素的阳离子盐加入母相溶胶中形成整体溶胶，一次旋涂成膜；而是采用将掺杂物相与母体分别配制成溶胶，分开旋涂，通过热处理过程中离子互相运动来形成固溶掺杂。它在新材料技术领域有较好的应用前景。