本发明提供了一种衬底片表面残余应力释放的方法，涉及LED技术领域，衬底片表面残余应力释放的方法包括：采用离子束轰击衬底片，其中，所述离子束的流量为5‑50sccm，源功率为500‑1200W；偏压源功率为150‑350W。采用离子束轰击衬底片，可以减小或消除衬底片表面的残余应力，从而减小衬底片的变形，使衬底满足精度要求；且该方法操作简单、方便，可以达到快速高效的修正效果。