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专利名称一种高镜面模具表面CrN涂层制备方法
申请日2019-09-28
申请号/专利号CN201910928132.3
专利权人华杰新材料科技(苏州)有限公司
申请人华杰新材料科技(苏州)有限公司
发明人/设计人杨杰平
公告日2019-12-20
公告号CN110592530A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明提供了一种高镜面模具表面CrN涂层制备方法。该方法采用中频阴极磁控溅射和阳极层离子束技术,以金属Cr为靶材,以N2为反应气体,对Cr靶施加电压在高镜面模具表面沉积CrN涂层。在沉积过程中,通过控制阳极层离子束的功率和氮气流量来制备CrN涂层。与现有技术相比,利用该方法制备的CrN涂层具有良好的致密性和耐磨性。因此,该方法适用于高镜面模具上CrN涂层的制备。
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