本发明提供一种光伏反光膜用耐腐蚀铝合金靶材，分子式为AlxMyNz，其中，x≥75wt%，M为过渡金属元素，含量为1wt%≤y≤15wt%，N为稀土元素，含量为1wt%≤z≤10wt%，其采用真空熔炼铸造法制备，用其制得的铝合金薄膜厚度为20~150nm。其提高了耐腐蚀和附着力性能，提高反光膜对组件的增益效果，延长反光膜使用寿命。