本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：步骤一：铜背板和靶胚预处理：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理；步骤二：高温胶制备：将双组份硅酮弹性体搅拌；步骤三：绑定处理：选取绑定层，将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上；将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上；将靶胚的涂胶面向下，使靶胚和铜背板完全贴合；对高温胶进行凝固处理，即完成靶材绑定作业。本发明避免了绑定工序高温作业，减轻劳动强度；低温条件下绑定，避免了铜背板变形，满足靶材平面度要求；绑定材质高温胶失效温度高，满足靶材对高熔点绑定层的要求；操作简单，相比于普通绑定技术效率高，成本低。