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专利名称用于芯片硅生产工序中的清洗机及其使用方法
申请日2019-09-25
申请号/专利号CN201910910319.0
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人武晨洁
公告日2019-12-17
公告号CN110575989A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机,包括用于放置芯片硅的清洗板、固定所述清洗板的支撑架以及用于向清洗板上、下两侧喷洒清洗液的清洗机构,所述清洗板为矩形板状,且清洗板上设有两排与芯片硅形状相同的放置孔,清洗板的长度方向两侧均开设有安装孔,每个安装孔内均对称设置两个双向电动推杆,清洗板的相对两侧均平行设置两根边杆,每根边杆靠近清洗板的一侧均固定若干块挡板,每块挡板的末端均活动伸入相邻一排的放置孔内,位于上方的双向电动推杆的两个伸缩端分别与上方的两块挡板连接。本发明还公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机的使用方法。本发明人工放置好芯片硅后,自动清洗芯片硅两侧,效果好,清洗液回收循环利用。
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