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专利名称一种半导体清洗处理箱体夹持工装
申请日2019-09-23
申请号/专利号CN201910897865.5
专利权人山东九思新材料科技有限责任公司
申请人山东九思新材料科技有限责任公司
发明人/设计人石坚;李杰;于友;朱棣
公告日2019-12-13
公告号CN110571176A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

一种半导体清洗处理箱体夹持工装,属于半导体清洗处理技术领域,包括固定架和横向伸缩缸,所述固定架下方固定安装有水平的固定板,所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接,固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接,所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板,所述后板固定安装有后夹持架,所述固定板前端固定安装有前夹持架,所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力,实现对箱体的夹持,结构简单,造价低廉,夹持紧固、稳定,实现高效稳定的自动化清洗处理,提高作业效率,降低成本。
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