本发明公开了一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，包括底板，底板底面四角均固接有矩形的支撑杆，底板底面下方设有矩支撑板，支撑板一端顶面设有过滤箱，过滤箱一侧设有吸气泵，支撑板另一端顶面设有配电箱，支撑板顶面中部设有第一电机，第一电机前方设有旋转轴，旋转轴顶端设有下研磨盘，底板顶面两端均设有夹持组件，底板一端顶面设有支撑柱，支撑柱顶端设有固定板，固定板设有照明灯、电动伸缩杆和吸尘罩，电动伸缩杆活动端设有第二电机，第二电机的电机轴上设有上研磨盘，吸尘罩通过吸尘管与吸气泵连接。本发明还公开了一种精度高的芯片硅生产用研磨的操作方法。本发明结构简单有利于提高工作效率，降低粉尘污染，更加环保。