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专利名称一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法
申请日2019-09-23
申请号/专利号CN201910897875.9
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人郭志宏
公告日2019-11-22
公告号CN110484966A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法,包括以下步骤:S1.在干锅炉外壳体内设有固定托盘,将三组石墨坩埚托盘固定在固定托盘上,组成石墨坩埚;S2.将石英坩埚放在石墨坩埚上,通过三组石墨坩埚托盘对石英坩埚进行夹持;S3.干锅炉顶座与干锅炉外壳体通过环形固定螺栓和环形螺栓槽螺接固定;S4.开始对单品硅进行加工生产;该热场坩埚的安装和加持方法,不仅解决了原有坩埚安装调节麻烦,速度慢的问题,同时采用新的加持方式,让坩埚的安装更加便捷,出现故障时,检修更换更加方便,从而达到提高生产效率,降低维修难度,节约时间的目的。
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