本发明公开了一种湿式CMP镜面抛光液，其由A、B两种组分组成，其中A组分由下列重量份的组分制得：有机酸5‑30份、蜡20‑50份、乳化剂4‑20份、去离子水30‑100份。B组分是由下列重量份的组分制得：磨料50‑80份、悬浮剂5‑15份、缓蚀剂1‑5份、防锈剂3‑10份、消泡剂5‑10份、去离子水20‑80份，其制备方法为：1)制备A组分：采用相转变剂在油中法，将A组分的有机酸、蜡、乳化剂混合在一起，加热至80‑120℃完全熔化，加入100℃左右热去离子水高速搅拌直至变成水性水性；2)制备B组分：取去离子水，加入磨料并搅拌均匀，然后依次加入悬浮剂、缓蚀剂、防锈剂、消泡剂，搅拌均匀备用；3)取冷却后的A组分与B组分搅拌混合均匀；4)调节pH值7～10。本发明制备的抛光液分散、悬浮性好、润滑性好、易于清洗、出光效果好、成本低、可循环使用。