本发明公开了一种堆栈式芯片硅基质量检测装置，包括底端四角安装有支撑杆的输送平台，所述输送平台上安装有传动模组、图像采集结构、带有单片机的图像处理设备以及用于不合格产品筛选的剔除模组，所述输送平台为阶梯式结构，其上分别开设有芯片传送槽和设备传动槽，所述输送平台上安装的传动模组包括安装于芯片传送槽侧面的输送电机和安装于设备传动槽内的伺服电机，所述芯片传送槽内安装有一组配合输送电机的传送带，芯片传送槽内设置有一组配合伺服电机安装的传动丝杠，且传动丝杠远离伺服电机的一端与输送平台之间通过滚子轴承配合。该堆栈式芯片硅基质量检测装置，结构合理，易于调节使用，有效提高芯片检测效率，适用性强。