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专利名称感光性树脂组合物、干膜抗蚀层
申请日2019-09-14
申请号/专利号CN201910867734.2
专利权人浙江福斯特新材料研究院有限公司
申请人浙江福斯特新材料研究院有限公司
发明人/设计人朱高华
公告日2019-12-03
公告号CN110531583A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种感光性树脂组合物、干膜抗蚀层。该树脂组合物包括40~70重量份的碱可溶性树脂、20~50重量份的光聚合单体、0.5~10.0重量份光引发剂和0.1~10.0重量份添加剂,所述碱可溶性树脂含有15~35质量%的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、15~55质量%的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、15~55质量%的苯乙烯的结构单元、和1~7质量%的来自(甲基)丙烯酸羟乙酯的结构单元。本发明所的树脂组合物制成干膜抗蚀层时,具有优异的附着力、分辨率和退膜速度快等优点。
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