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专利名称一种4吋蓝宝石晶体退火方法
申请日2019-09-12
申请号/专利号CN201910861201.3
专利权人江苏吉星新材料有限公司
申请人江苏吉星新材料有限公司
发明人/设计人洪洋;宋述远;蔡金荣
公告日2019-11-29
公告号CN110512287A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开了一种4吋蓝宝石晶体退火方法,包括以下步骤:将蓝宝石晶片装入退火炉中,所述退火炉中装载蓝宝石晶片的工装上,对应蓝宝石晶片中间位置可加热升温,退火炉以3‑5℃/min的速率升温至低温区120‑140℃,保温3‑5小时,升温过程中,开启工装上加热片,且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同;将经过低温保温后,以8‑12℃/min升温至1200‑1380℃,保温48‑56小时,保温3‑5小时,升温过程中,开启工装上加热片,且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同;保温结束后,以1‑3℃/min的速率逐渐降温至室温,即可。该退火方法简单,周期短,退火后晶片质量不受影响,可用于产业化。
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