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专利名称一种蓝宝石晶片研磨方法
申请日2019-09-12
申请号/专利号CN201910861241.8
专利权人江苏吉星新材料有限公司
申请人江苏吉星新材料有限公司
发明人/设计人陆昌程;宋述远;蔡金荣
公告日2019-12-03
公告号CN110524408A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明公开一种蓝宝石晶片研磨方法。该方法包括以下步骤:对切割获得的蓝宝石晶片按厚度分组,厚度差在0.015‑0.02mm;用研磨液对蓝宝石晶片进行研磨5‑12分钟,研磨液的平均粒径为20‑30μm,所述研磨液由改性磨料、聚丙烯酸钠、柠檬酸钠和去离子水混合而成,且改性磨料的重量百分比为研磨液的0.02‑0.08%,抛光压力为32‑35kPa;经过物理研磨后蓝宝石晶片用流水冲洗后,再用抛光垫沾染抛光液进行抛光,抛光时间为5‑8分钟,所得蓝宝石晶片的表面粗糙度Ra为0.2‑0.4nm。该研磨方法集合化学研磨和物理研磨为一体,降低了研磨过程中对设备的要求,减少了磨料的使用,具有良好的应用前景。
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