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专利名称一种半导体原材料研磨设备
申请日2019-09-06
申请号/专利号CN201910843605.X
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人纪永良
公告日2019-12-13
公告号CN110560228A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明涉及半导体研磨粉碎附属装置的技术领域,特别是涉及一种半导体原材料研磨设备;包括底板和工作箱,取放口处螺栓螺装有挡盖,还包括转把、固定轴、转动轴和粉碎片组;还包括放置块、两组固定柱、两组支架、两组滑柱、把手、连接架、连接柱和转动柱,转动柱外侧左半区域与右半区域均设置有螺纹,连接柱包括第一套簧和第一可伸缩管,还包括环形吸铁石板,连接架上设置有铁板,转动柱外侧固定套设有定位圈,还包括三组辅助块,且三组辅助块内部横向均设置有第一通槽,三组第一通槽内侧壁均可转动固定有第一滚珠组,底板顶端左半区域和右半区域横向均设置有滑轨,并在两组滑轨处均可滑动固定有滑板。
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