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专利名称一种多晶硅热场坩埚装置
申请日2019-09-06
申请号/专利号CN201910842812.3
专利权人大同新成新材料股份有限公司
申请人大同新成新材料股份有限公司
发明人/设计人朱建峰
公告日2019-12-13
公告号CN110565171A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明涉及多晶硅加热附属装置的技术领域,特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置,其工作釜内部可以方便进行观察,从而提高其实用性;包括工作釜,工作釜内部设置有工作腔,工作釜顶端连通设置有取放口,并在取放口处螺栓螺装有挡盖;挡盖顶端连通设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明观察板,挡盖顶端左侧设置有前后向连通口,还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦,还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠,前固定板后端设置有第一轴承座,并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片,第一轴承座后端设置有第一挡片,还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。
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