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专利名称一种具有高深镀能力的VCP镀铜光亮剂及其制备方法
申请日2019-08-30
申请号/专利号CN201910817442.8
专利权人广州皓悦新材料科技有限公司
申请人广州皓悦新材料科技有限公司
发明人/设计人丁先峰;李良华;余显超
公告日2019-11-15
公告号CN110453255A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新材料

摘要

本发明提供一种具有高深镀能力的VCP镀铜光亮剂,包括如下含量的组分:4~6g/L的分散剂、80~100g/L的聚乙二醇、7~8g/L的主光剂、7~9g/L的碱性黄、1~3g/L的甲醛、1~2g/L的硫酸铜、0.5~0.6g/L的硫酸、2~5g/L的湿润剂、4~6g/L的苯基二硫丙磺酸钠、8~9g/L的整平剂、1~2g/L的硫酸铁、余量的去离子水。本发明的镀铜光亮剂在电镀作业时电流密度密度可达到40ASF,镀层均匀性可达到90%以上。加入的硫酸铁改善了镀铜的深镀能力,提高了电流效率,生产效率等,深度能力:8:1,纵横比可达到85%。
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