本发明涉及粉末高温合金制造技术领域，公开了一种IN718合金粉末及其合金的热等静压成型及热处理工艺，该工艺包括粉末热等静压及热处理两个阶段，气雾化法制备的IN718合金粉末含氧量低可抑制生成碳化物组成的的原始颗粒边界，由于粉末颗粒细小，凝固速度快，含氧量低，具有成分均匀，无宏观偏析，制件性能稳定，可净成形及热加工变形性能较好等优点。后续通过粉末热等静压成型（HIP）及热处理工艺后，合金Laves相少，使更多合金元素均匀固溶。在时效阶段析出数量更多的沉淀强化相γ′相和γ″相。有效避免缩孔和疏松，并在一定程度上减少有害相，可以在强化合金的同时保持其良好的塑性，从而实现强度和塑性的同步改善。