本发明涉及一种LiPF6生产工艺及生产系统，将包含PF5的第一进料流和包含LiF和HF的第二进料流通入第一微通道反应器，第一微通道反应器产物中的气体部分通入第二微通道反应器，与包含LiPF6、LiF和HF的第三进料流进行反应，第一微通道反应器产物中的液体部分经过结晶、干燥后得到LiPF6。本发明制备的LiPF6具有纯度高、粒径均匀、产品质量稳定性高等优点，适于用作锂离子电池电解液组分。