本发明公开了一种柔性CIGS太阳能电池片硒源加氢增强硒反应活性的系统，包括硒源、氢气储罐、气体自动混合装置及混合气输出管道，所述气体自动混合装置包含硒蒸气控制阀门、氢气控制阀门及气体输送管道，硒源的硒蒸汽出口连接硒蒸气控制阀门的入口，氢气储罐的氢气出口连接氢气控制阀门的入口，硒蒸气控制阀门的出口连接气体输送管道的硒蒸气入口，氢气控制阀门的出口连接气体输送管道的氢气入口，气体输送管道的出口连接混合气输出管道的入口，硒蒸气控制阀门与氢气控制阀门联动。本发明能实现硒蒸汽和氢气的自动并均匀混合，能有效打开团簇Se并生成少量硒化氢，增加反应活性，减少薄膜的缺陷。