本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，根据硅芯生长不同阶段所需恒流维持电压的不同，将维持电压分档设置，每档设置对应的接地电流的预警值和动作值，预警值小于动作值。当维持电压对应的接地电流达到预警值时，进行预警，操作者根据预警调整工艺参数以避免或延迟接地电流达到动作值；当维持电压对应的接地电流达到动作值时，停止多晶硅还原炉电源系统的运行。本发明的保护精度更高，在保证还原炉安全运行生产同时，可减少缺相、延迟缺相，增加了还原炉有效运行时间，从而增加了产能。