本发明公开了一种多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置，包括：裂解罐，裂解罐具有聚氯硅烷废料进口和氯化氢进口，聚氯硅烷废料进口供聚氯硅烷废料进入，氯化氢进口供氯化氢进入；蒸发罐，蒸发罐的进口与裂解罐的出口连通；三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐，蒸发罐的出口与三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐连通。在本发明中，裂解罐中设置有树脂，聚氯硅烷废料和氯化氢在树脂的催化作用下发生化学反应，生产三氯氢硅及四氯化硅。反应物进入到蒸发罐中，在蒸发罐的蒸发作用下，三氯氢硅和四氯化硅分离，并分别进入到三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐中。本发明中的处理装置能够回收聚氯硅烷废料中的氯硅烷，从而节约了能源，减少了排放量。