本发明公开了一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。在本发明中，使包含有氯硅烷、氯化氢以及氢气的尾气通入过滤装置中，过滤装置将尾气中的硅粉过滤出，从而实现硅粉与氯硅烷、氯化氢以及氢气的分离。之后开启连通管上的第一阀门，从而使过滤出的硅粉通过连通管进入到收集装置中，从而实现了对硅粉的收集。本发明中的系统不仅能够将尾气中的硅粉过滤出，而且还能够将过滤出的硅粉进行收集。