本发明公开了一种氯硅烷吸附树脂填充装置和树脂填充方法，所述的填充装置，其包括树脂缓冲罐、氯硅烷树脂吸附柱、泵和文丘里管，其中，树脂缓冲罐的出口连接文丘里管的喉部，文丘里管的出口连接氯硅烷吸附柱的入口，氯硅烷吸附柱的出口通过冷却系统连接泵的进口，泵的出口与文丘里管的入口端相连。本发明具有(1)能耗低，氮气用量少，采用少量树脂与大量氯硅烷接触，放热均匀，既能保证树脂活性，又能保证装填的安全性；(2)避免树脂的高速流动产生的磨损和粉化的优势。