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专利名称一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法
申请日2019-08-23
申请号/专利号CN201910784965.7
专利权人新疆大全新能源股份有限公司
申请人新疆大全新能源股份有限公司
发明人/设计人钟峥;张万里
公告日2019-10-22
公告号CN110357107A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新能源

摘要

本发明涉及多晶硅加工技术领域,具体涉及一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法。主要技术方案为:一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置,包括:机架、导轨、夹持机构、磨削驱动机构和磨头;导轨固定地设置在机架上;夹持机构设置在导轨上,能够在导轨上移动;磨头设置在磨削驱动机构上,被磨削驱动机构驱动转动;磨头的前端部为圆柱形;磨头的后端部为圆柱形;磨头的后端部的直径较前端部的直径大;磨头的前端部和后端部之间为中部;中部为圆台形;前端部、中部和后端部同轴设置;磨头上设置有通孔,用于向磨头的磨削面通入超纯水;磨头上设置有导流槽;导流槽沿磨头的外侧,从通孔的前端延伸至磨头的后端部,用于将磨头中的水和磨削粉尘导出。
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