本申请公开了一种太阳能电池，包括硅衬底；位于硅衬底的第一表面的扩散层；位于扩散层背离硅衬底的表面的第一钝化层；位于第一钝化层背离扩散层的表面的氮氧化硅层；位于氮氧化硅层背离第一钝化层的表面的减反层；位于减反层背离氮氧化硅层的表面的第一电极；位于硅衬底的第二表面的隧穿层；位于隧穿层背离硅衬底的表面的掺杂多晶硅层；位于掺杂多晶硅层背离隧穿层的表面的第二钝化层；位于第二钝化层背离掺杂多晶硅层的表面的第二电极。本申请的太阳能电池设有氮氧化硅层，与减反层共同作用，氮氧化硅层不仅具有钝化效果，增强对扩散层的钝化，还具有减反射特性，增强减反增透效果，提升电池转换效率。本申请还提供一种具有上述优点的制备方法。