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专利名称一种利用In-Ga合金蒸发源制备大面积均匀性CIGS薄膜太阳能电池的方法
申请日2019-08-14
申请号/专利号CN201910749760.5
专利权人尚越光电科技股份有限公司;浙江尚越新能源开发有限公司
申请人浙江尚越新能源开发有限公司
发明人/设计人刘宽菲;张卫彪;任宇航
公告日2019-11-05
公告号CN110416367A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新能源

摘要

本发明公开了一种利用In‑Ga合金蒸发源制备大面积均匀性CIGS薄膜太阳能电池的方法,通过In/Ga混合金属蒸发源替代常规的单质In和单质Ga金属源,使得In和Ga金属在蒸发前就以特定的比例进行混合,并利用实验方式,获得混合金属液体在高温蒸发时的In/Ga喷射比例预测经验公式,确保In、Ga金属按照我们设计的成分比例在基底表面形成CIGS薄膜,从而实现In/Ga混合源长时间大面积镀膜的稳定性,同时实现CIGS薄膜内In和Ga金属分布的均匀性。
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