本发明公开了一种硅碳复合材料及其制备方法，涉及电池材料技术领域。本发明的硅碳复合材料的制备方法采用二甲基二氯硅烷、三甲基二氯硅烷作为硅源，采用苯或甲苯作为碳源，分别选择石墨球、石墨烯、碳纳米管作为碳基体，通过化学气相沉积方法，合成硅碳复合材料。复合材料中的碳基提高了材料的电导率，而沉积的无定型碳构成的网络结构将硅和碳基体稳定连接，有效的缓解了硅电极在充放电过程中的膨胀，保证了电极材料的稳定性。硅源和碳源中不含氧元素，所得硅碳复合材料中氧含量降低，可以降低硅碳复合材料的不可逆容量。