本发明公开了一种纳米硅的制备方法、硅基负极材料及其制备方法。本发明实施例的纳米硅的制备方法，包括将还原金属(镁或铝)、含硅原料(氯化硅或二氧化硅)以及熔盐(氯化铝或氧化铝)进行反应，得到含硅沉淀物。含硅沉淀物中包含需要的纳米硅。由于熔盐参与到反应过程中，促使反应可以在较低的温度下进行，进而获得纳米硅，因此在制备纳米硅以及硅基负极材料的过程中，对反应设备的要求更低，也更安全稳定。并且，本发明的硅基负极材料具有较好的倍率性能。