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专利名称一种提高热处理炉炉温均匀性的方法及可旋转工件托盘
申请日2019-07-31
申请号/专利号CN201910704102.4
专利权人山西中电科新能源技术有限公司
申请人山西中电科新能源技术有限公司
发明人/设计人张军彦;冯光志;周社柱;侯炜强;王慧明;吴忠举
公告日2019-10-08
公告号CN110306025A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类新能源

摘要

本发明涉及一种高温热处理技术领域,具体为一种提高热处理炉炉温均匀性的方法及可旋转工件托盘,包括支撑平台和保温仓,支撑平台上设置有轨道,保温仓底部设置有旋转机构,旋转机构在轨道上使保温仓可在支撑平台上转动;保温仓的仓顶设置有若干排气孔;仓底的厚度为3‑6cm,在仓底内设置有若干孔道,孔道的入口端与处理炉相连通,孔道的出口端设置在仓底内部;工艺气体通入孔道使保温仓沿轨道旋转,工艺气体的流速为5~100L/min、相对压力0.1~1000Kpa,本发明通过保温仓旋转,实现各个工件在热区位置运动,实现各个不同的工件横截面温度的一致,在同等成本下,提升系统的整体精度。
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